Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium

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ACS4

Publication Year:
2021

ISBN-13: 9782746241848

Aborde l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites. Description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique développé pour le cas des couches minces, des technologies mises en jeu, des caractérisations spécifiques utilisées et de réalisations technologies abouties.